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Burkert氣體質量流量計/Burkert氣體質量流量控制器的結構

更新時間:2021-07-22      點擊次數:1912

德國寶德Burkert氣體質量流量計/Burkert氣體質量流量控制器的結構和Burkert氣體質量流量控制器工作原理你知道嗎?

什么是Burkert氣體質量流量控制器MFC

寶德Burkert氣體質量流量控制器(MFC)與氣體質量流量計(MFM),MFC是帶有控制氣體質量流量的裝置,而MFM是不具有控制氣體質量流量功能的裝置。

寶德Burkert氣體質量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體的質量流量進行精密測量和控制:氣體質量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)用于對于氣體的質量流量進行精密測量。擴散,氧化,分子束外延,CVD, 等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。德國寶德Burkert氣體流量計|Burkert氣體質量流量控制器廣泛用于石油化工,冶金,制藥等。特點:精度高,重復性好。

1、Burkert氣體質量流量控制器結構

Burkert氣體質量流量控制器MFM由電路板、傳感器、進出氣管道接頭、分流器通道機殼等部件組成,只能對氣體質量流量進行測量;在MFM基礎上加上調節閥構成MFC,既可以對氣體質量流量進行測量,也能對流量進行控制。


2、Burkert氣體質量流量計/Burkert氣體質量流量控制器工作原理

氣流進入進氣管道街頭后大部分流量流過分流器通道,其中很小- -部分進入Burkert傳感器內部的毛細鋼管。由于分流器通道的特殊結構,可以實現這兩部分氣體流量成正比例關系。傳感器經過預熱加溫,里面的溫度高于進入的氣流溫度,此時通過毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原理測量這一小部分氣體的質量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響,將Burkert傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板,經過放大后輸出,就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環自動控制功能,把Burkert傳感器測得的流量檢測信號與用戶給出的設定信號進行比較,以此為基礎控制調節閥,使得流量檢測信號與設定信號相等,這樣便實現了Burkert氣體質量流量控制器MFC的功能。

Burkert氣體質量流量控制器8742 型和 8746 型:具有模擬量接口或 Profibus-DP 接口的氣體質量流量控制器和質量流量計

我們的 8742和8746型Burkert質量流量控制器(MFC)和Burkert質量流量計(MFM)現在可以提供模擬量通訊和 Profibus-DP 通訊的版本。了解更多優勢。

除了現有的 büS/CANopen 版本外,8742 和 8746 型Burkert質量流量控制器和質量流量計現在還有標準模擬量信號接口或 Profibus-DP 通訊版本。這使您在系統設計中有更多的選擇和靈活性。

直接在氣流中測量

Bürkert氣體質量流量控制器MFC 和 MFM 的傳感器直接位于氣流中,并用真實氣體進行標定。這使它們具有很高的動態特性和測量精度以及超快的響應和穩定時間。

堅實的現場設備

得益于 IP65 和 IP67 防護等級,新加固型 8742 和 8746 可以直接在現場使用,而無需裝在控制柜內。此外,這些裝置還有 ATEX/IECEx 2 區 3 類 G/D 認證版本可供選擇。



8742和8746型Burkert氣體質量流量控制器優勢一覽

? 借助直接位于氣流中的真實氣體標定的傳感器,實際測量精度在同類產品中最高

? 防護等級達 IP65 和 IP67,適合在嚴苛的現場使用

? 由于流量標定在很長一段時間內都保持穩定并且介質中沒有活動部件,維護成本很低

? 易于集成到現有系統中

詳細了解Burkert氣體質量流量控制器帶 Profibus-DP 的 MFC 和 MFM:

8742型Burkert氣體質量流量控制器

8746型Burkert氣體質量流量控制器

詳細了解Burkert氣體質量流量控制器帶模擬接口的 MFC 和 MFM:

8742型

8746型



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